Развој постројења за производњу кисеоника ВПСА

Немачка компанија Линде је 1891. године започела рад на течњавању ваздуха у лабораторији компаније за производњу расхладних машина.
Године 1895. професор Линде је направио први уређај са течним ваздухом користећи Џул-Томсонов ефекат.
Линде је 1901. године основао фабрику за производњу криогене опреме у Минхену.
Године 1902. завршена је опрема за одвајање ваздуха за први једностепени исправљачки торањ који је дизајнирао Линде. Француски Краут је изумео машину за експанзију и основао компанију Аир Ликуефацтион у Паризу.
Године 1903. Линде је направио први индустријски генератор кисеоника од 10м3/х, користећи процес пригушивања високог притиска.
Француска је 1910. године направила први генератор кисеоника од 50м3/х користећи процес средњег притиска са машином за експанзију клипа.
1920. године, Хајланд, Немачка, изумео је процес високог притиска за производњу течног кисеоника са експанзионом машином под високим притиском.
Године 1924. Франкел је предложио да се у великој опреми за одвајање ваздуха користе хладњаци пуњени металом уместо обичних измењивача топлоте.
Године 1926, Франкел је предложио уобичајени облик хладног акумулатора.
Године 1930., Линде је направио прву Линде Франкел јединицу индустријског обима са излазом од 255м3/х и чистоћом од 99,5% О2.
Године 1932. турбоекспандер је први пут коришћен на јединици Линде-Франкел. Кисеоник је први пут коришћен у металургији и синтези амонијака у Немачкој.
Совјетски Савез је 1939. године створио турбоекспандер високе ефикасности и почео да проучава комплетну опрему за одвајање ваздуха ниског притиска.
Године 1947. Линде се посветио индустријској опреми за производњу кисеоника под пуним притиском. Совјетски Савез је почео да пројектује велика индустријска постројења за кисеоник са пуним процесима ниског притиска.
Године 1949. Сједињене Државе су по први пут у 29000м3/х генератора кисеоника на примени плочасте деформације измењивача топлоте.
Аустрија је 1952. године први пут употребила конвертер са чистим кисеоником за производњу челика, што је изазвало нагло повећање металуршког кисеоника.
Године 1955. Сједињене Државе су енергично развијале ракете и трошиле велику количину течног кисеоника као убрзивача.
Године 1957. направљен је први аутоматски погонски генератор кисеоника од 120 тона дневно.
Јапан је 1960. године довршио 10000м3/х99,6% О2 и 10000м3/х99,99% Н2 двоструке велике чистоће пуне нисконапонске опреме.
Француска је 1972. године направила највећи светски капацитет опреме за одвајање ваздуха од чистог кисеоника: 1700 тона О2 и 1500 тона Н2 дневно.
Веће јединице се још увек проучавају.