ПСА Генератор кисеоника за полуводич
Opis
Tehničke karakteristike
Зашто индустрија полуводича потребна су генератори кисеоника ПСА?
Снабдевање гасом са високим чистоћима:Производња полуводича има строге захтеве за чистоће гасом, а кисеоник са високим чистоћима је неопходно за литографију, чишћење и остале везе. Помоћу технологије за адсорпцију под притиском, агрегат кисеоника ПСА производи кисеоник чистоћом од 95% ± 3%, што испуњава захтеве формирања оксидског слоја и чишћењем на лицу и избегава ризик од нечистоће загађења традиционалног снабдевања кисеоником.
Осигурати стабилност процеса:Посемичке производне линије захтевају континуирано и стабилно снабдевање гасом. Генератор за кисеоник ПСА користи двоструке адсорпционе куле да делује наизменично, и кроз ПЛЦ интелигентну контролу може постићи 24- сатни непрекидно снабдевање кисеоником, избегавање продукцијских прекида проузрокованих ручним замјенским боцама и прилагођава се процесима осетљивим на притисак и јеткање у облику танког филма.
Смањите трошкове и оптимизирајте простор:У поређењу са течним резервоарима за складиштење кисеоника и цилиндри за гас високог притиска, агрегати кисеоника који производе кисеоник на лицу места, у великој мери смањење трошкова превоза и складиштења. Има мали отисак и подржава модуларну експанзију, што задовољава потребе максимизирања искоришћености простора у чистим радионицама са фабрикама полуводича. Дугорочна цена употребе је око 20% нижа од традиционалне методе.
Прилагођавање посебним процесима:У напредним процесима, неки посебни процеси захтевају прецизну контролу концентрације кисеоника. Агрегати о кисеонику ПСА може флексибилно подесити чистоћу кисеоника (95% -99. 9%) подешавањем адсорпционог односа притиска и молекуларног ситог односа да испуни посебне захтеве процеса 3Д НАНД Фласх меморије.
Еколошки прихватљив и једноставан за одржавање:ПСА технологија не захтева хемијске реагенсе, а процес производње кисеоника не емитује штетне материје, које испуњавају стандарде заштите животне средине полуводичке индустрије. Опрема користи нехрђајући челик од нехрђајућег челика хране и самочишћење, са циклусом одржавања до 3-5 године и погодна је за производно окружење са високим чистоћом.
| категорија | Детаљи параметара |
| Чистоћа кисеоника | 93% -99. 5% (УлПА систем филтрације може се прилагодити, садржај нечистоће мање или једнак 1ППБ) |
| Излазни притисак | 0}. 5-1. 5МПА (подесиво, прилагођено стандарду усисавања ваздуха полуводичке опреме) |
| Опсег протока | 10-5000 НМ³ / Х (подржава паралелно ширење више јединица) |
| Тачка росе | Мање или једнако -70 степени (да спречи водену пару да загађује процесно окружење) |
| Енергетска ефикасност | Мање или једнако 0. 38кВх / нм³ (висока ефикасност променљива фреквенција, уштеда енергије више од 30%) |
| Ниво буке | Мање или једнако 65 дБ (Структура ниске вибрације + звучно изолациона шкољка, у складу са класом 1000 стандардима чисте собе) |
Основне предности генератора кисеоника ПСА
Гаранција ултра високе чистоће
Двоструки слојни молекуларни молекуларни кревет и каталитичка оксидациона јединица користе се за дубоко уклањање нечистоћа као што су угљоводоници и ЦОУ, а чистоћа кисеоника достиже више од 99,5%, а састала је са стандардом СЕМИ Ф20. Уграђени онлајн анализатор у реалном времену, синхронизација података у фабрички СЦАДА систем да би се осигурала стабилност процеса.
Интелигентни контролни и сувишни дизајн
Интегрисани ПЛЦ + ХМИ систем управљања, подржава даљинско надгледање, само-дијагнозу грешке и пребацивање у хитним случајевима (дволовна сувишна адсорпција). Аутоматска технологија компензације притиска да би се носила са тренутним захтевом за високи проток опреме за полуводичку опрему.
Раствор за уштеду енергије у ниско угљеници
ВПСА (вакуумски притисак о адсорпцији) синергистичка технологија смањује потрошњу енергије, уштеду 15% -20% енергије у поређењу са традиционалним пса.оптионалним модулом за опоравак отпада за смањење радионице.
Компатибилност чисте собе
Сви канал протока од нехрђајућег челика + нано премаз да би се избегла контаминација метала јона; Зеро дизајн за бртвљење цурења, прошао је ИСО 8573-1 класу 0 сертификат.
ПСА типови постројења за кисеоник
Модуларна опрема
Твин торањска опрема
Контејнерова опрема
| НТК95 Сериес ПСА Одиген Генератор Генератор | ||||||
| Снимање бр. | Модели | Капацитет (НМ3 / ХР) |
Чистоћа | Потрошња електричне енергије 1НМ3 произведено кисеоник (кв / х) |
Број боца у 12 сати (рачунари) |
Потребан оператер |
| 1 | НТК 95-5 п | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | НТК 95-10 п | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | НТК 95-15 п | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | НТК 95-20 п | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | НТК 95-25 п | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | НТК 95-30 п | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | НТК 95-40 п | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | НТК 95-50 п | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | НТК 95-60 п | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | НТК 95-80 п | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | НТК 95-100 п | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
Постављана питања
1. Колико висока чистоћа кисеоника може бити и да ли испуњава захтеве производње полуводича?
Наш ПСА генератор кисеоника за полуводиче може рутински производити кисеоник чистоћом од 95% ± 3%. За неке процесе који захтевају изузетно високу чистоћу кисеоника, подешавањем параметара опреме, производња са кисеоником може се флексибилно контролисати у опсегу од 95% - 99. 9%, у потпуности сусрећу о строжим захтевима за гасну чистоћу у основним везама, чишћења и оксидације.
2 Колико је стабилна опрема и да ли може да обезбеди континуирани рад линије за производњу полуводича?
Опрема усваја двоструки адсорпциони торањски торањ наизменични режим рада, у комбинацији са ПЛЦ интелигентним системом управљања, како би се постигло 24- сатни непрекидно и стабилно снабдевање кисеоником. Овај аутоматизовани режим рада избегава прекиде напајања гасом узроковано ручном заменом боца, пружа поуздано и стабилно снабдевање гасом за процесе попут танког талошког таложења и јеткања које су осетљиве на притисак на ваздуху, а ефикасно смањују ризик од производње проузрокованих проблема са гасом.
3. У поређењу са традиционалним методама снабдевања кисеоником, колики је цена употребе?
У поређењу са течним резервоарима за складиштење кисеоника или цилиндри високог притиска, наш ПСА генератор кисеоника усваја режим производње кисеоника на лицу места, што увелике штеди трошкове превоза кисеоника и трошкове складиштења. Опрема заузима мало подручје и може се проширити модуларно, смањујући трошкове закупа на лицу места. Дугорочно, трошкови су око 20% нижи од традиционалне методе снабдевања кисеоником, што значајно штеди оперативне трошкове.
4. Да ли је одржавање компликоване опреме? Колико дуго је циклус одржавања?
Опрема је једноставна за одржавање, користећи нехрђајући челик од нехрђајућег челика хране и самочишћења, што увелике смањује рад одржавања. У нормалним околностима, циклус одржавања је све док је 3-5 године, а ми смо опремљени професионалним тимским тимом да пружимо техничку подршку у било које време да вам помогнем да решите проблеме током рада опреме.
Дјеловати сада да бисте осигурали свој ланац снабдевања кисеоником
✅ Прилагођена решења:
Реците нам свој кревет и максималну потражњу за прилагођени предлог.
✅ Брза достава:
Претходни модули испоручени у 8-12 недељама.
Опције финансирања:
Доступни су на располагању планови за закуп.
Телефонски број
+86 15888864725
Вхатсапп број
+86 15888864725
Е-маил
sales@newtek-group.com
Popularne oznake: ПСА Генератор кисеоника за полуводич, Кина ПСА кисеоник генератор за полуводич, добављаче, фабрика
Par
neSledeći
Медицински генератор кисеоникаPošalji upit
Ступите у контакт
Напишите своју поруку
